2026-03-10
2025-08-16
2025-02-04
| 备案项目编号 | 2605-4406*** |
|---|---|
| 项目名称 | 半导体微纳加工中试验证基地项目 |
| 项目所在地 | 佛山市南海区狮山镇***【登录会员可以查看】 |
| 项目总投资 | 20000万元 |
| 项目规模及内容 | 本项目主要从事化合物半导体及硅基MEMS传感领域的微纳加工中试公共服务,面向器件主要包括氮化镓功率器件、氮化镓光电子器件、环境传感器、力学传感器、光学传感器与执行器件等。本项目为技术改造,在原有制造基础上增置核心服务设备,提升工艺多样化服务能力。厂房1栋,建筑面积2.4万平方米,本项目占用厂房面积约5000平方米,设有千级生产净化车间、化学品仓。拟购置设备包括:步进式光刻机、涂胶显影机、SACVD、溅射台(PZT)、光学镀膜机、RIBE、超声检测仪、光学显微镜、分光光度计、FIB、AFM等。 |
| 建设单位 | 广东***研究院***【登录会员可以查看】 |
| 备案机关 | 佛山市南海区狮山镇经济发展办公室 |
| 备案申报日期 | 2026-05-15 |
| 复核通过日期 | 2026-05-15 |
| 项目起止年限 | 2026-05-01至2028-12-01 |
| 项目当前状态 | 办结(通过) |
建设单位(业主单位)简介:
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