珠海市高新区真空干法刻蚀机建设厂房总投资金额1.6亿
日期:2025-04-28 15:20:32
点击: 作者/来源:小编
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摘要:项目总投资:16000万元 项目规模及内容项目主要拟突破新型显示干法刻蚀多物理场等离子体模拟与设计,关键部件开发与国产化替代、干法刻蚀整机研制集成及量产验证等核心技术,并采购相关设备,实现6代及以上真空干法刻蚀机研发及产业化。项目总投资16000万元,包括固定资产投资额4900万元,样机物料费及技术产品研制等费用为11100万元。项目起止年限2025-04-01至2028-04-01
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